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发布时间：2008-03-25      

                         型号规格：客户定制 

                         主要指标：

                         基板材料：99.6％AL2O3（asfire）
                          金属膜：
                                正面: TaN/TiW/Au                 背面：TiW/Au  
                                 TaN 50±10%Ω/方                 TiW 厚度600埃          
                                 TiW 厚度600埃                    Au的厚度＞1μm
                                 Au的厚度4μm
   


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